飞行时间二次离子质谱分析机组
Unit information
机组简介
本机组由一位高级工程师（主管）和二位工程师（日常运行）组成，核心设备是飞行时间二次离子质谱（TOF-SIMS），附属设备有探针式膜厚测量仪（简称台阶仪）等。
TOF-SIMS一直是近代表面科学及表面分析技术发展的重要组成之一。在无机半导体及光电器件研发中，它与俄歇电子谱(AES)信息互补; 在表面物理化学研究中，它与光电子谱(PES-XPS/UPS)信息互补。
TOF-SIMS：
1）能检测出包括氢在内的所有元素及其同位素，
2）对所有元素具有ppm～ppb(因元素而异)的检测灵敏度，
3）能测定从表面到深至数十μm的微量元素及化合物浓度布，
4）能观测各种元素及化合物的二维以及三维的分布，
5）能鉴定有机化合物分子。
适用于有机、无机、生物、医学、电子、地质/考古、环境等各种领域的各种固体材料的分析。在有机纳米材料和器件、有机/高分子材料微量添加剂、微电子材料、催化剂、摩擦化学、新药创制、环境微颗粒微量成分、生物细胞分析等的研究开发中，它已成为必不可少的工具。
附属设备台阶仪除了测量溅射坑深度外，还能测量样品表面形貌，粗糙度等。深度分辨为2nm。
本机组将努力为校内外的老师、同学，研究所及公司工程技术人员提供优质的测试分析服务。分析各种研发样品、失效分析样品，品质质量控制样品等。并全面对外开放。
预约、分析测试服务流程：
1）通过电话（010-6278-3586）、北京电子能谱中心微信公众号、电子邮件表示预约意向；
2）填写本机组通过邮件或微信送附的《TOF-SIMS样品登记表》，并返回给本机组；
3）本机组收到样品登记表后，即预约成功；
4）分析测试原则上按预约先后排队测试，测试日期的有关事宜本机组通过电话或微信通知；
5）分析测试；
6）测试结果报告撰写；
7）发送测试费通知；
8）发送测试结果报告（原则上收到测试费后，才发送）
预约方式
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公众号预约
北京电子能谱中心微信公众号
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邮件预约
zhanpingli@mail.tsinghua.edu.cn
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电话预约010-62783586
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电话：010-62783586
邮箱：zhanpingli@mail.tsinghua.edu.cn 李老师
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liqincup@mail.tsinghua.edu.cn 李老师
地址：清华大学理科楼D108
