基本信息:
设备名称:飞行时间二次离子质谱仪 Time-of-Flight Secondary Ion Mass Spectrometry, TOF-SIMS
设备编号:13027664
型号:TOF.SIMS 5
厂家:ION-TOF GmbH(德国)
放置地点:理科楼D-104
附属设备:
探针式膜厚测量仪(简称台阶仪)。型号:DektakXT;厂家:BRUKER(美国);量测范围:为0.1nm 至1mm,分辨为0.1nm,测量重复性可以精确到0.5nm 以内;测量精度:若台阶高度小于或等于100nm,指标为+/-2nm,若台阶高度大于100nm,指标为+/-1%。
收费标准:
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收费项目名称 |
校外 |
校内 |
院系内 |
1 |
表面分析送样测试 |
800元/小时 |
800元/小时 |
560元/小时 |
注:1 有机材料深度剖面等特殊分析需追加200元/小时。
2 按预约先后排队测试,校内优先。
技术参数:
1.质量分析器
类型:反射式
质量分辨本领:M/△M
>11000(28SiH+)
>16000 (>200amu)
质量范围: >12000amu
2.一次离子束
LMIG:Bi源
最大能量:30keV
最大电流:30nA
最小束斑直径:<100nm(Atomic), <80nm(Cluster)
3.GCIB (Ar团簇离子枪)
能量范围:2.5~20keV
Cluster 大小:1500~5000
4.O2+离子枪 (仅作溅射)
离子能量范围:0.2~2keV
5.Cs+离子枪(仅作溅射,与O2+离子枪共享一个离子光学系统)
离子能量范围:0.2~2keV
6.带电中和低能电子枪
能量:1-20eV可调
7.样品台:5维加热/冷却
控温范围及精度:-130℃~600℃;±1℃
8.EDR技术:动态范围增2个量级
9.本底真空:<6.7×10-10mba
功能特色:
可用以表面下范围在2nm以内的最表层分析,能检测出包括氢(H)在内的所有元素及其同位素,对所有元素具有极高的检测灵敏度(ppm~ppb,因元素而异),可检测痕量杂质,及微量掺杂对材料和器件性能的影响;能测定从表面到深至数十μm的微量元素及化合物浓度布;能观测各种元素及化合物的1D、2D、3D分布,具有很高的空间分辨率(<100nm);能分析绝缘材料;能鉴定有机化合物分子,对有机材料结构分析有独特的能力,适于分析大分子、超高分子量有机化合物,并能测定分子量;能取得单分子层表面结构信息。
应用领域:
适用于有机、无机、生物、医学、电子、地质/考古、环境等各种领域的各种固体材料的分析。在有机纳米材料和器件、有机/高分子材料微量添加剂、微电子材料、催化剂、摩擦化学、新药创制、环境微颗粒微量成分、生物细胞分析等的研究开发中,它已成为必不可少的工具。