设备名称：俄歇电子能谱仪 Auger Electron Spectroscopy，AES
设备编号：06000904
型号：PHI 700
厂家：ULVAC-PHI，日本
放置地点：理科楼D104

收费项目名称
1、常规样品测试费 校外：800元/小时、校内：500元/小时
注：非常规样品测试费用另行商议。

极限真空≤6.7×10-8Pa，分辨率≤6 nm at 1 nA, 20 kV，灵敏度 10 kV, 10 nA on Cu ≥700kcps (Cu LMM)，角分辨率：angle＜25%±45º

俄歇电子能谱是一种利用高能电子束为激发源的表面分析技术, 其作用深度仅为几个原子层，通过分析电子束激发的特征俄歇电子的能量可以获得表面元素的定性及定量结果。该仪器是国家电子能谱中心的核心设备，结合离子刻蚀技术可以方便获得材料表面沿深度方向的元素分布状态，是表面成分分析的重要手段之一。结合原位样品转移仓，可获得厌氧样品的表面化学分布。

广泛应用于物理、化学等新材料领域，特别是在半导体材料，半导体薄膜工艺以及失效分析等领域。