设备名称：探针式膜厚测量仪（简称台阶仪）
型号：DektakXT
厂家：BRUKER（美国）
量测范围：为0.1nm至1mm，分辨为0.1nm，测量重复性可以精确到0.5nm以内；测量精度：若台阶高度小于或等于100nm，指标为+/-2nm，若台阶高度大于100nm，指标为+/-1%。

收费项目名称
测试费 校外：200元/小时、校内：100元/小时
注：开机计时，以半小时为计量单位。