设备名称：飞行时间二次离子质谱仪 Time-of-Flight Secondary Ion Mass Spectrometry, TOF-SIMS
设备编号：13027664
型号：TOF.SIMS 5
厂家：ION-TOF GmbH（德国）
放置地点：理科楼D104
附属设备：探针式膜厚测量仪（简称台阶仪）。型号：DektakXT；厂家：BRUKER（美国）；量测范围：为0.1nm 至1mm，分辨为0.1nm，测量重复性可以精确到0.5nm 以内；测量精度：若台阶高度小于或等于100nm，指标为+/-2nm，若台阶高度大于100nm，指标为+/-1%。

收费项目名称
表面分析送样测试 校外：1500元/小时 校内：800元/小时
数据解析一律400元/小时
注：1 有机材料深度剖面等特殊分析需追加200元/小时。
       2 按预约先后排队测试，校内优先。

1．质量分析器
类型：反射式质量分辨本领：M/△M＞11000(28SiH+)＞16000 (＞200amu) 质量范围: ＞12000amu
2．一次离子束
LMIG：Bi源最大能量：30keV最大电流：30nA最小束斑直径：＜100nm(Atomic), ＜80nm(Cluster)
3．GCIB (Ar团簇离子枪) 能量范围：2.5～20keVCluster 大小：1500～5000
4．O2+离子枪 (仅作溅射)
离子能量范围：0.2～2keV
5．Cs+离子枪(仅作溅射，与O2+离子枪共享一个离子光学系统)离子能量范围：0.2～2keV
6．带电中和低能电子枪
能量：1-20eV可调
7．样品台：5维加热/冷却
控温范围及精度：-130℃～600℃；±1℃
8．EDR技术：动态范围增2个量级
9．本底真空：＜6.7×10-10mba

可用以表面下范围在2nm以内的最表层分析，能检测出包括氢(H)在内的所有元素及其同位素，对所有元素具有极高的检测灵敏度(ppm～ppb,因元素而异)，可检测痕量杂质，及微量掺杂对材料和器件性能的影响；能测定从表面到深至数十μm的微量元素及化合物浓度布；能观测各种元素及化合物的1D、2D、3D分布，具有很高的空间分辨率(＜100nm)；能分析绝缘材料；能鉴定有机化合物分子，对有机材料结构分析有独特的能力，适于分析大分子、超高分子量有机化合物，并能测定分子量；能取得单分子层表面结构信息。

适用于有机、无机、生物、医学、电子、地质/考古、环境等各种领域的各种固体材料的分析。在有机纳米材料和器件、有机/高分子材料微量添加剂、微电子材料、催化剂、摩擦化学、新药创制、环境微颗粒微量成分、生物细胞分析等的研究开发中，它已成为必不可少的工具。