结构超滑是指在固体-固体接触滑移过程中呈现磨损为零和摩擦系数几乎为零的状态，结构超滑技术为解决摩擦磨损问题提供了一个颠覆性解决方案。微纳操纵技术是微纳米领域的关键技术，也是解决现有挑战的必要条件。文献报道的最大单体结构超滑接触面积约为100 µm²量级，但是目前所有我们已知的结构超滑可能的应用场景，都需要宏观或裸眼可见尺度（亚毫米以上）的接触界面，亚毫米级结构超滑没有实现的主要原因之一是缺乏合适的操纵技术。清华大学郑泉水院士团队基于微触头技术操纵、表征亚毫米石墨剪切界面的研究工作，相关成果发表在ACS applied materials & interfaces. 2023,15(37):44563-44571.

使用该技术操纵石墨剪切接触的最大面积为1×1 mm²，是传统探针方法最大操纵尺寸（20×20 µm²）的2500倍。基于该技术，亚毫米HOPG石墨方块的剪切界面首次被打开。采用原子力显微镜（AFM）、电子背散射衍（EBSD）、拉曼光谱和俄歇电子能谱（AES）对接触界面的两侧进行了系统的表征，并在界面发现了三种缺陷结构：共度晶粒（commensurate grains）、外台阶（external steps）和碳杂质（carbon aggregates）。

俄歇电子能谱（AES）因其灵敏的表面特性而成为最常用的表面分析手段，具有很高的空间分辨率，可以满足样品表面微区分析的要求。分析中心俄歇电子能谱分析表征了亚毫米石墨剪切界面缺陷结构：碳杂质（carbon aggregates），测得杂质区域主要为碳（92%），少量氧气（5%）和硅（3%），Mapping像表征了整个分析区域碳、氧和硅的分布情况。俄歇结果证明界面中发现的杂质可能是无序的石墨碳，这是导致超润滑缺陷结构之一。论文作者对分析中心俄歇电子能谱分析进行了致谢。

图. 俄歇电子能谱（AES）表征