俄歇电子能谱（AES）具有很高的表面灵敏度，其检测深度约为3-10原子单层（0.4-5nm），检测极限为10-3原子浓度，空间分辨率可达到4nm，可以用于分析除氢和氦以外（Li-U）元素的定性、定量分析，广泛应用于金属材料、半导体材料、纳米材料的表面吸附和反应，表面扩散，薄膜厚度分析，界面扩散和结构，表面偏析，化学态分析，失效分析，材料缺陷，摩擦润滑，催化剂方面分析。

清华大学分析中心现有一台纳米扫描俄歇系统PHI700，为了促进本仪器更好服务于校内用户，中心开展俄歇电子能谱制样和数据分析系列培训，本系列培训免费，欢迎校内相关用户积极报名参加。

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