设备名称：X射线光电子能谱仪X-ray photoelectron spectroscopy，XPS
设备编号：待验收
型号：ESCALABXi+
厂家：ThermoFisher Scientific，英国
放置地点：理科楼D104
收费项目名称
1、表面分析 校外：800元/样（5个窄谱内），每增加1个窄谱加收100元、校内：400元/样（5个窄谱内），每增加1个窄谱加收50元
2、深度分析-Depth Profile 校外：1000元/小时、校内：500元/小时
3、深度分析-分段溅射 校外：1) 溅射费400元/次；2) 溅射后采谱，每采集一次谱等同于样品表面分析单次收费 、校内：1)溅射费200元/次；2) 溅射后采谱，每采集一次谱等同于样品表面分析单次收费
4、自主上机 仅限校内 8:00-18:00时段：1600元；18:00-次日8:00：100元/小时，800元封顶
180°球扇形分析器。X射线光电子成像最佳空间分辨率≤1μm；单色化X射线源（Al/Ag阳极），AlKα最佳能量分辨率≤0.43eV，最佳空间分辨率≤20μm；氩（团簇和单粒子）离子源，加热冷却样品台。
X射线光电子能谱（XPS）是利用光电效应原理，采样深度<10nm 的表面分析技术。该仪器是国家电子能谱中心的核心设备，配置了化学领域需要的表面原位反应和检测所需要的全部必备附件，包括：紫外光电子能谱（UPS）、反光电子能谱（IPES）、反射电子能量损失谱（REELS）、离子散射谱（ISS），可对各类固体材料的表面原子层进行表界面元素及化学态分析，实现能带、价带、费米能级、导带、功函数等电子结构的测量。同时，配合准原位反应室和残余气体分析器（RGA），对催化剂、器件等新材料样品进行光辐照（氙灯光源）、温度（170K-900K）、气氛（四路气体）、真空负压、电磁场、等离子体（变频）等环境下的反应处理，原位表征从样品制备-中间态产物反应-表面化学分析等不同过程中的表面化学信息。
