1、控制系统
1）操作界面：7英寸电阻触摸屏操作界面，支持多种工作方式。
2）程序控制：可编程，总共有20个程序，每个程序有3个清洁步骤
2、反应腔体
1）腔体材质：圆柱形石英玻璃舱。
2）腔体尺寸：内径110毫米，外径120毫米，深度280毫米，壁厚：5毫米。
3）前观测窗：前方开口，5毫米厚石英玻璃可视窗口，可观测内腔等离子状态，并带有防真空泄漏和避免高压的联锁装置，有效保护操作的安全性；
3、射频电源
1）射频频率：13.56MHz
2）射频功率：标配0~75W；可选配0~150W。从0瓦到150瓦之间以1瓦间距连续可调，自动阻抗匹配。
3）射频输出可以工作在脉冲方式，脉冲比可以从1/255调到255/255（连续输出）。
4、等离子源
1）等离子强度探测器实时测量等离子源强度。
2）电阻耦合电离方式。
3）外置电极设计，高压电极不合等离子接触以避免金属溅射造成的样品污染。
5、气体控制
1）气路控制：标配一路MFC；可选配三路MFC；
2）质量流量计可以在0~100sccm之间控制气体流量；
3）一路(Venting and purging)气体入口用来快速给样品室放气和冲走残余处理气体。
4）自动放气流程控制可以保护真空泵不受影响。
5）高性能气压计可以测量1e-4 Torr到大气压之间的气压。
6）6mm气体接口。
6、真空系统
1）KF25法兰接口用来连接真空泵。
2）真空要求：抽速：>1.7m3/h；
3）最低气压：
功能特色 |
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